純凈的六氟化硫氣體是無毒的，但是當(dāng)六氟化硫不純或者是分解的時(shí)候就會產(chǎn)生毒性。從有關(guān)部門的試驗(yàn)及研究結(jié)果可知，六氟化硫氣體的毒性主要來自5個(gè)方面。
1、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體在高溫電弧發(fā)生作用時(shí)而產(chǎn)生的某些有毒產(chǎn)物。
2、六氟化硫產(chǎn)品不純，出廠時(shí)含高毒性的低氟化硫、氟化氫等有毒氣體。
3、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與電極(Cu-W合金)及金屬材料(AL、Cu)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。
4、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體分解物與其內(nèi)的水分發(fā)生化學(xué)反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。
5、電器設(shè)備內(nèi)的六氟化硫氣體及分解物與絕緣材料反應(yīng)而生成某些有毒產(chǎn)物。如與含有硅成分的環(huán)氧酚醛玻璃絲布板(棒、管)等絕緣件;或以石英砂、玻璃作填料的環(huán)樹脂澆注件、模壓件以及瓷瓶、硅橡膠、硅脂等起化學(xué)作用，生成 SiF4、Si(CH3)2F2 等產(chǎn)物。
