合成過程中產(chǎn)生的雜質(zhì)外，六氟化硫氣體還可以在氣體填充過程中與少量空氣、水、礦物油和其他雜質(zhì)混合，這些氣體具有或?qū)a(chǎn)生某些有毒物質(zhì)。因此，為確保純度和質(zhì)量，已為供應(yīng)的六氟化硫制定了質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)，制造商有義務(wù)在交付時(shí)出示生物測(cè)試無毒證書。
1、電氣設(shè)備發(fā)生高溫電弧時(shí)，SF6氣體會(huì)產(chǎn)生一些有毒物質(zhì)。
例如，SF6氣體在電弧中的分解以及與氧氣的反應(yīng)會(huì)產(chǎn)生有毒物質(zhì)，如含硫氟化物、含硫四氟和含硫氟化物。
2、電器中六氟化硫氣體的分解產(chǎn)物與其中的水發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)物。例如，SF6氣體降解產(chǎn)物與水之間的二次反應(yīng)產(chǎn)生氫氟酸、二氧化硫、硫酸等。
3.SF6氣體和電氣設(shè)備中的分解產(chǎn)物與電極（銅鎢合金）和金屬材料（鋁、銅）反應(yīng)，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)物。例如，六氟化硫氣體和分解產(chǎn)物與電極或其他材料反應(yīng)：AlF3（固體粉末）、AlF3（固體粉末）、CuF2（固體粉末）和其他固體粉末
4.SF6氣體和電氣設(shè)備中的分解產(chǎn)物與絕緣材料發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生一些有毒產(chǎn)品。如絕緣部分用環(huán)氧酚醛玻璃纖維布板（棒、管），含硅；或環(huán)氧樹脂鑄件、模塑件、瓷瓶、硅橡膠、硅脂等。以石英砂和玻璃為填料，起化學(xué)作用，生產(chǎn)SiF4、Si（CH3）2F2等產(chǎn)品。
上述六氟化硫氣體高溫分解產(chǎn)物導(dǎo)致六氟化硫氣體純度不純的問題。
